天博体育 朔方华创恳求纳米孔薄膜制备花式专利, 故意于裁减纳米孔薄膜的制备成本

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发布日期:2026-04-21 04:27    点击次数:158

天博体育 朔方华创恳求纳米孔薄膜制备花式专利, 故意于裁减纳米孔薄膜的制备成本

国度常识产权局信息显露,北京朔方华创微电子装备有限公司恳求一项名为“一种纳米孔薄膜的制备花式及有关安设”的专利,公开号CN121872321A,恳求日历为2024年10月。

专利节录显露,本评释书执行例提供了一种纳米孔薄膜的制备花式,该花式最初在基板名义变成多个纳米级金属团,之后对基板进行等离子体刻蚀,以在基板的蓄意位置变成纳米孔,所述蓄意位置包括纳米级金属团场地位置,况兼所述等离子体刻蚀禁受的刻蚀气体包括含碳气体和含氧气体;如斯,在刻蚀经由中,运用纳米级金属团的溶碳工夫,将刻蚀气体解离出的活性解放基在纳米级金属团场地位置处富集,从而增多纳米级金属团场地位置处的刻蚀速度,同期含氧气体梗阻含碳气体变成的保护膜,天博体育故意于进一步增多纳米级金属团位置处的刻蚀速度,从而使纳米级金属团位置处的刻蚀速度宽敞于其他位置。禁受该花式故意于裁减纳米孔薄膜的制备成本。

天眼查尊府显露,北京朔方华创微电子装备有限公司,开导于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册成本114153.708311万东谈主民币。通过天眼查大数据分析,北京朔方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标神色1405次,财产痕迹方面有商标信息73条,专利信息5000条,此外企业还领有行政许可340个。

声明:市集有风险,投资需严慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不组成个东谈主投资冷漠。

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